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SMC SL5200, un seul étage Régulateur compact pour ultra haute pureté
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SL5200, un seul étage Régulateur compact pour ultra haute pureté

SMCDistributeur Officiel

By SMC

Série SL est un régulateur ultra haute pureté (UHP) pour la livraison de gaz à semi-conducteurs et d'autres industries propres. La série a une conception sans ressort (pas de ressort de soupape champignon dans la surface mouillée), et est disponible en bas à capacités d'écoulement intermédiaires. Les options disponibles incluent Hastelloy ® Internes pour la résistance à la corrosion, un type de connexion raccord de soudure du tube, et différentes finitions de surface.
  • Pour la livraison de gaz UHP
  • Capacité de débit standard: jusqu'à 30 slpm; capacité de débit élevé: jusqu'à 130 slpm
  • Matériel de corps: 316L SS refonte secondaire
  • Hastelloy ® internes disponibles pour la résistance à la corrosion
  • Option de livraison sous pression atmosphérique

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Sélectionnez les valeurs dans la liste déroulante afin de configurer la référence.
Pression de livraison Configuration Status
Matériau Configuration Status
Finition de surface Configuration Status
Options Range Configuration Status
Ports Configuration Status
Connexions, entrée Configuration Status
Connexions, sortie Configuration Status
Jauge Port, sortie Configuration Status
Unité de jauge de pression Configuration Status
Matériau du siège Configuration Status
Spécification de flux Configuration Status
Les options en :
  • Gris ne sont pas compatibles avec l'une des valeurs sélectionnées.
  • Rouge sont en conflit avec l'une des valeurs sélectionnées pour les options.
  • Orange ne sont pas recommandées.

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