XGTP, Vanne à guillotine à joint parallèle

Série XGTP fente fonctions de valve de portail entre les chambres de matériel semi-conducteur. positions typiques incluent entre la chambre de transfert et la chambre de sas de chargement ou de transfert et les chambres de traitement. Le XGTP a été conçu pour faciliter la maintenance, y compris l'accès facile à remplacer le soufflet de l'actionneur ou la porte. Faible génération de particules et un cycle de 3 millions de survie sevice productivité élevée des outils semi-conducteurs.

• Grande durée de vie: 3 million cycles.
• Faible génération de particules: Réduction de 1/5 min.
• Soufflet remplaçable.
• Verrouillage mécanique d'extrémité.
• Réduction de la consommation d'air de 22%.