XLS, à vide élevé Angle Valve, type électromagnétique, balance Soufflet

Les vannes angulaires pour les vides élevés de la série XL offrent une excellente conductivité thermique qui permet d'obtenir une température uniforme le long du corps de la vanne et une diminution notable de la condensation de gaz au sein de la vanne. Les vannes ne contiennent pas de métaux lourds tels que Ni (nickel) ou Cr (chrome) et le débit à faible piétinement aide également à réduire la contamination par les métaux lourds des pastilles semi-conductrices.

• Les particules sont réduites car il n'y a pas de pièces métalliques mobiles
• Le mécanisme d'équilibre de la pression permet un sens d'échappement libre
• Peut être utilisé pour un équipement portable car le système pneumatique n'est pas requis
• Le circuit d'alimentation du contrôle du pilote de l'électrovanne est en standard