XGT *, à vide élevé Slit Valve
Distributeur OfficielBy SMC
Les vannes fendues de la série XGT peuvent être employées avec la vanne de cloisonnement entre la chambre de verrouillage de la charge et la chambre de transfert, et entre la chambre de transfert et la chambre de processus dans les appareils de fabrication de semi-conducteurs, etc.
- Longue durée de vie: 3 millions de cycles (dans la plage de température standard)
- Faible génération de particules: réduite de 1/5 ou plus (par rapport au produit actuel)
- Maintenance simplifiée
- Remplacement facile du soufflet
- Le portail peut être remplacé par le haut (sur commande)
- Mesures de sécurité
- A mécanique le mécanisme de verrouillage d'extrémité a été adopté
Documents
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Pourquoi Proax pour SMC XGT *, à vide élevé Slit Valve?
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