XLS, à vide élevé Angle Valve, type électromagnétique, balance Soufflet

série haute soupape d'angle à vide XL fournit d'excellents résultats de conductivité thermique dans une température uniforme pour l'ensemble du corps de soupape et une diminution marquée de la condensation des gaz à l'intérieur de la vanne. La vanne ne contient pas de métaux lourds, tels que Ni (nickel) ou Cr (chrome), et un faible rendement de pulvérisation contribue aussi à réduire au minimum la contamination par les métaux lourds de plaquettes semi-conductrices.

• Les particules sont réduites car il n'y a pas de pièces métalliques mobiles
• Le mécanisme d'équilibre de la pression permet un sens d'échappement libre
• Peut être utilisé pour un équipement portable car le système pneumatique n'est pas requis
• Le circuit d'alimentation du contrôle du pilote de l'électrovanne est en standard