série haute soupape d'angle à vide XL fournit d'excellents résultats de conductivité thermique dans une température uniforme pour l'ensemble du corps de soupape et une diminution marquée de la condensation des gaz à l'intérieur de la vanne. La vanne ne contient pas de métaux lourds, tels que Ni (nickel) ou Cr (chrome), et un faible rendement de pulvérisation contribue aussi à réduire au minimum la contamination par les métaux lourds de plaquettes semi-conductrices.
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